Substrato MgF2
Descrizione
MgF2 viene utilizzato come lente, prisma e finestra per la lunghezza d'onda da 110 nm a 7,5 μm.È il materiale più adatto come finestra per il laser ad eccimeri ArF, per la sua buona trasmissione a 193 nm.È efficace anche come polarizzante ottico nella regione dell'ultravioletto.
Proprietà
| Densità（g/cm3） | 3.18 |
| Punto di fusione (℃) | 1255 |
| Conduttività termica | 0,3 Wm-1K-1 a 300K |
| Dilatazione termica | Asse c parallelo 13,7 x 10-6 /℃ 8,9 x 10-6 /℃ asse c perpendicolare |
| Durezza Knoop | 415 con penetratore da 100 g (kg/mm2) |
| Capacità termica specifica | 1003 J/(kg.k) |
| Costante dielettrica | 1,87 a 1 MHz asse c parallelo 1,45 a 1 MHz perpendicolare all'asse c |
| Modulo di Young (E) | 138,5 GPa |
| Modulo di taglio (G) | 54,66 GPa |
| Modulo di massa (K) | 101,32 GPa |
| Coefficiente elastico | C11=164;C12=53;C44=33,7 C13=63;C66=96 |
| Limite elastico apparente | 49,6 MPa (7200 psi) |
| Rapporto di Poisson | 0,276 |
Definizione del substrato MgF2
Il substrato MgF2 si riferisce a un substrato costituito da materiale cristallino di fluoruro di magnesio (MgF2).MgF2 è un composto inorganico composto da elementi magnesio (Mg) e fluoro (F).
I substrati MgF2 hanno diverse proprietà notevoli che li rendono popolari in una varietà di applicazioni, specialmente nei campi dell'ottica e della deposizione di film sottili:
1. Elevata trasparenza: MgF2 ha un'eccellente trasparenza nelle regioni ultraviolette (UV), visibili e infrarosse (IR) dello spettro elettromagnetico.Ha un ampio intervallo di trasmissione dall'ultravioletto a circa 115 nm all'infrarosso a circa 7.500 nm.
2. Basso indice di rifrazione: MgF2 ha un indice di rifrazione relativamente basso, che lo rende un materiale ideale per rivestimenti e ottiche AR, poiché riduce al minimo i riflessi indesiderati e migliora la trasmissione della luce.
3. Basso assorbimento: MgF2 mostra un basso assorbimento nelle regioni spettrali dell'ultravioletto e del visibile.Questa proprietà lo rende utile in applicazioni che richiedono un'elevata chiarezza ottica, come lenti, prismi e finestre per raggi ultravioletti o visibili.
4. Stabilità chimica: MgF2 è chimicamente stabile, resistente a un'ampia gamma di sostanze chimiche e mantiene le sue proprietà ottiche e fisiche in un'ampia gamma di condizioni ambientali.
5. Stabilità termica: MgF2 ha un punto di fusione elevato e può resistere a temperature di esercizio elevate senza un degrado significativo.
I substrati MgF2 sono comunemente usati nei rivestimenti ottici, nei processi di deposizione di film sottili e nelle finestre o lenti ottiche in vari dispositivi e sistemi.Possono anche fungere da strati tampone o modelli per la crescita di altri film sottili, come materiali semiconduttori o rivestimenti metallici.
Questi substrati vengono tipicamente prodotti utilizzando tecniche come la deposizione di vapore o metodi di trasporto fisico del vapore, in cui il materiale MgF2 viene depositato su un materiale di substrato adatto o cresciuto come un singolo cristallo.A seconda dei requisiti dell'applicazione, i substrati possono avere la forma di wafer, piastre o forme personalizzate.
